袖珍表面粗糙度仪在集成电路半导体中的应用

更新时间：2022-07-25

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　　袖珍表面粗糙度仪具有测量精度高、测量范围宽、操作简便、便于携带、工作稳定等特点，可以广泛应用于各种金属与非金属的加工表面的检测，该仪器是传感器主机一体化的袖珍式仪器，具有手持式特点，更适宜在生产现场使用。外形采用拉铝模具设计，坚固耐用，抗电磁干扰，符合当今设计新趋势。

　　被测零件是平面时，可以直接把表面粗糙度仪放在被测零件上，让表面粗糙度仪探针接触被测零件表面，按下表面粗糙度仪测量按键，此时需要保证表面粗糙度仪不能有任何的晃动、或震动，手不能接触表面粗糙度仪和被测零件，大约10秒钟后测量完毕。

　　被测零件是曲面或凹槽或小孔等不同形状时，需要根据零件形状要求，选配不同的传感器探头和测量平台进行测量，因每个客户的被测零件形状不同，故表面粗糙度的检测方法也各不相同，需根据零件详细给出测量方案。

　　测量工件表面粗糙度时，将传感器放在工件被测表面上，由仪器内部的驱动机构带动传感器沿被测表面做等速滑行，传感器通过内置的锐利触针感受被测表面的粗糙度，此时工件被测表面的粗糙度引起触针产生位移，该位移使传感器电感线圈的电感量发生变化，从而在相敏整流器的输出端产生与被测表面粗糙度成比例的模拟信号，该信号经过放大及电平转换之后进入数据采集系统。

　　随着袖珍表面粗糙度仪的技术和功能不断加强和完善，以及深入的推广和应用，越来越多的行业被发现会需求粗糙度的检测，除机械加工制造外，电力、通讯、电子，如交换机上联轴器、集成电路半导体等生产加工过程中也需粗糙度的评定，甚至人们生活中使用的文具、餐具、人的牙齿表面都要用到表面粗糙度的检验。

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